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X射線熒光（X-ray fluorescence，XRF）是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時激發(fā)出的次級X射線，是一種快速的、非破壞式的物質(zhì)測量方法。X射線熒光技術(shù)可以檢測植物體內(nèi)大部分元素的分布信息，植物體內(nèi)某些礦質(zhì)營養(yǎng)元素的組織分布可以反映元素的運輸和利用特點。X射線熒光顯微鏡XROS MF30可作為研究植物體內(nèi)微量元素的分布和遷移特點的重要工具。

測量原理

試樣受X射線照射后，其中各元素原子的內(nèi)殼層，其中各元素原子的內(nèi)殼層（K，L或M層）電子被激發(fā)逐出原子而引起電子躍遷電子被激發(fā)逐出原子而引起電子躍遷，并發(fā)射出該元素的特征X射線熒光。每一種元素都有其特定波長的特征X射線。通過測定試樣中特征X射線的波長，便可確定存在何種元素，即為X射線熒光光譜定性分析。元素特征X射線的強度與該元素在試樣中的原子數(shù)量（即含量）成比例，因此，通過測量試樣中某元素特征X射線的強度，采用適當?shù)姆椒ㄟM行校準與校正，便可求出該元素在，便可求出該元素在試樣中的百分含量，即為X射線熒光光譜定量分析。

1.微焦X射線管2.狹縫和主過濾器更換器3. 多毛細管光學透鏡4.樣品5. XY工作臺

6.照明器7.數(shù)碼顯微鏡8.半導體能量分散探測器9.點光電二極管/ CCD10.測量室11.鏡子

主要參數(shù)

參數(shù)類型	參數(shù)值
元素范圍	11Na (Kа) –92U (Lа)
能量范圍	1 – 40 keV
MnKα的能量分辨率	<140 eV, at 50 000 cps
物體尺寸	0,030,03mm – 150150 mm, Z軸可達10cm
XY工作臺的精度	10 um
TubeHV	till 45 kV
最大功率	500 W
自動過濾器更換器	鋯Zr,鈦Ti,鉬Mo,銀Ag,鋁Al,銅Cu,氯Cl
重量	85kg
尺寸	665х615х650mm

技術(shù)規(guī)格

光束源

? X射線管：最大電壓50千伏，最大功率500瓦，陽極材料Mo，另根據(jù)要求

? 多毛細管透鏡：具有可變尺寸的光，用于X射線波束成形束，X射線束直徑30-1000μm

? 主光束濾波器：Zr，Ti，Mo，Ag，Al，Cu，Cl

光學電子顯微鏡

? 最大變焦：200х

樣本定位和映射

? 攝像機選擇分析區(qū)域

? 光學顯微鏡結(jié)合X射線探頭的軸來控制分析區(qū)域

? 樣品和探針移動系統(tǒng)

2 用于選擇工作距離的自動化系統(tǒng)；分析單元沿Z軸移動，Z定位精度12μm

2 自動化平臺：用于XY軸對象定位和在用戶定義的樣本區(qū)域上掃描，XY定位精度10μm

2 掃描最大面積：150x150 mm

2 樣本最大尺寸：300х210х100 mm

2 樣本最大重量：1kg

X射線熒光分析

-用于局部元素分析的能量色散半導體探測器

硅漂移探測器（SDD）

? 探測器在Mn Kα上的能量分辨率 :<150 eV

? 光譜范圍:1-40 keV

? 最大計數(shù)率:1 000 000 pps

? 濃度范圍:從1 ppm到100％

軟件

? 控制系統(tǒng)：控制微探針顯微鏡、高壓發(fā)生器模式、樣品和光束定位

? 局部元素分析和元素映射：使用單一認證樣品進行校準；幾個標準樣品校準曲線；確定特征線的能量和強度；定性和半定量分析（基本參數(shù)法）；光譜比較和搜索光譜庫中的類似物；用戶定義的樣本區(qū)域的元素映射；光譜和映射結(jié)果存儲到數(shù)據(jù)文件；比較，減法，存儲光譜的歸一化；疊加光譜映射光學和射線照相圖像上的圖像結(jié)果；在用戶定義的樣本點進行自動分析

? 射線照相：數(shù)字化的亮度和對比度控制；縮放；測量圖像點之間的距離

? 記錄和數(shù)據(jù)存儲：將圖像存儲在數(shù)據(jù)庫中；保存測量結(jié)果并導出到其他Windows程序；數(shù)字化圖像記錄到外部媒體；圖像和協(xié)議打印

真空和冷卻系統(tǒng)

? 真空室：分析單元的組成部分，帶有真空泵，用于輕元素分析

? 內(nèi)置冷卻系統(tǒng)：用于X射線管

附加零件和配件

? 控制工作站：英特爾?酷睿?i7，操作系統(tǒng)Windows 10，RAM 8Gb，HDD 1 Tb，24英寸顯示器

? 校準樣品

? 備件和消耗品

外形尺寸

? 分析模塊尺寸（長хWхH）：665х615х650mm

? 重量（不含冷卻介質(zhì)）：85kg